技术参数：
型号
VMU222
VMU322
VMU432
行程(mm)*
200×200×200
300×200×200
400×300×200
外型尺寸(mm)
1040×740×1620
1040×740×1620
1240×800×1620
重量(kg)
240
250
310
承重(kg)
25
25
25
检测精度
XY轴**
E2=(1.5+L/300)μm
E2=(1.9+L/300)μm
Z轴***
E1=(5.0+L/200)μm
速度
XY轴
500mm/S
Z轴
100mm/S
光栅尺
0.1μm Renishaw光栅尺
导轨
THK
图像传感器
高清晰彩色工业摄像机
光源
轮廓光
LED冷光源，256级亮度可调
表面光***
6环8区LED冷光源，各段独立操作，256级亮度可调
同轴光
LED冷光源，256级亮度可调
光学镜头
12.5:1连续变倍
放大倍率****
光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230×
软件
Vispec软件平台（VMU版）
运动控制
自主专利的CNC直流伺服系统
保修期
1年
工作环境
温度20℃±2℃，湿度30～80%
振动<0.002g，低于15Hz
电源
200~240Vac ，50/60Hz，单相，700W
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