SPR2000系列 粗糙度轮廓仪
产品特点
性能和成本的平衡，具有最佳性价比。
高精度数字式轮廓传感器
无导头宽范围粗糙度传感器
大量程轮廓测量，微观轮廓度测量
宽范围粗糙度测量
高精度大量程粗糙度、高精度大量程轮廓测量的复合机型
技术规格
规格号
SPR1000
SPR2000
测量范围
X轴
100~220mm
Z轴
320~620mm
Z1轴
C:0~±30mm/R:±420μm
C:0~±30mm/R:±620μm
轮廓精度
Z1线性精度?
±（1.5+|0.2H|）μm
±（0.8+|0.2H|）μm
圆弧?
±（1.5+R/8)μm
±（1.5+R/12)μm
角度?
±2
±1
直线度
0.8μm/100mm
0.5μm/100mm
粗糙度精度
线性精度
≤±（7nm+3.5%）
≤±（5nm+2.8%）
残值噪声
≤0.025μm
≤0.005μm
重复性
1δ≤2nm
1δ≤1nm
截止波长
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
评定长度
λCX2、3、4、5、6、7
驱动速度
X轴
0.1~10mm/s
0.05~15mm/s
Z轴
0.5~10mm/s
0.2~15mm/s
测量功能
轮廓
各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径、可进行直线度分析、凸度分析、轮廓度分析。
粗糙度
粗糙度功能：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
原始轮廓参数：Pa、Pt、Pp、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
